蒸發(fā)鉬舟是材料科學(xué)和化學(xué)中常用的一種工藝。鉬舟是由鉬金屬制成的小型船形容器,鉬金屬以其高熔點和化學(xué)穩(wěn)定性而聞名。
在蒸發(fā)鉬舟的過程中,鉬舟被加熱到高溫,使舟內(nèi)的材料蒸發(fā)。這一過程通常用于薄膜沉積技術(shù),如物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD),將一層薄薄的材料沉積在基材上。
蒸發(fā)鉬舟可用于沉積廣泛的材料,包括金屬、半導(dǎo)體和絕緣體。該工藝經(jīng)常被用于電子元件的生產(chǎn),如集成電路、太陽能電池和LED,以及光學(xué)涂層和其他先進(jìn)材料的制造。